Modular Electron Beam Source for Thin Film Deposition

 

作者: K. L. Chopra,   M. R. Randlett,  

 

期刊: Review of Scientific Instruments  （AIP Available online 1966）
卷期: Volume 37, issue 10  

页码: 1421-1422

 

ISSN:0034-6748

 

年代: 1966

 

DOI:10.1063/1.1720010

 

出版商: AIP

 

数据来源: AIP

 

 

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