Summary Abstract: Single crystal SrF2on GaAs(001)—an electron beam resist and dielectric for insulator/semiconductor structures

 

作者: Philip W. Sullivan,  

 

期刊: Journal of Vacuum Science&Technology B: Microelectronics Processing and Phenomena  （AIP Available online 1984）
卷期: Volume 2, issue 2  

页码: 203-204

 

ISSN:0734-211X

 

年代: 1984

 

DOI:10.1116/1.582780

 

出版商: American Vacuum Society

 

关键词: SrF2

 

数据来源: AIP

 

 

点击下载:  PDF (132KB)

返 回