Bestimmung von Verunreinigungen in Silizium mit Hilfe der Aktivierungsanalyse
作者:
M. Šimková,
V. Pinkas,
期刊:
Isotopenpraxis Isotopes in Environmental and Health Studies
(Taylor Available online 1967)
卷期:
Volume 3,
issue 3
页码: 88-91
ISSN:0021-1915
年代: 1967
DOI:10.1080/10256016708622387
出版商: Taylor & Francis Group
数据来源: Taylor
摘要:
Mittels Aktivierungsanalyse wurde der Gehalt an Arsen, Antimon, Kupfer, Phosphor und Zink in Halbleitersilizium bestimmt. Die Methode besteht aus zwei Schritten:
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