DIRECT OBSERVATION OF MOS TRANSISTOR CHANNEL ``PINCH‐OFF'' BY SCANNING ELECTRON MICROSCOPY

 

作者: D. V. Sulway,   K. A. Hughes,   W. A. Evans,   P. R. Thornton,  

 

期刊: Applied Physics Letters  （AIP Available online 1966）
卷期: Volume 8, issue 11  

页码: 296-298

 

ISSN:0003-6951

 

年代: 1966

 

DOI:10.1063/1.1754446

 

出版商: AIP

 

数据来源: AIP

 

 

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