作者: T. W. Haas, Allen G. Jackson,
期刊: Journal of Vacuum Science and Technology (AIP Available online 1966) 卷期: Volume 3, issue 3
页码: 168-169
ISSN:0022-5355
年代: 1966
DOI:10.1116/1.1492469
出版商: American Vacuum Society
数据来源: AIP
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