AbstractBei Durchschlagsmessungen an CdS‐Aufdampfschichten kann durch Variation der Belastungszeit ein Übergang vom Wärme‐ zum Felddurchschlag erzielt werden. Ein reiner Felddurchschlag wurde an den untersuchten Schichten nur bei Impulsbelastungen im μs‐Bereich erhalten.Aus der Dickenabhängigkeit der Durchschlagsfeldstärke im Felddurchschlagsbereich kann nach einer von FRÖHLICHabgeleiteten Abschätzung der zum Durchschlag erforderlichen Mindestfeldstärke angenommen werden, daß die für den Durchschlag erforderlichen Ladungsträger aus Termen der verbotenen Zone stammen.Im Wärmedurchschlagsbereich wurde eine ähnliche Abhängigkeit der Schichtdicke von der Durchschlagsfeldstärke gefunden und kann durch eine Erhöhung der Wärmeableitung mit abnehmender Schic