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Kohlenstoffbestimmung in Halbleitersilizium mittels Deuteronenaktivierungsanalyse

 

作者: M. L. BÖttger,   W. Helbig,   S. Niese,  

 

期刊: Isotopenpraxis Isotopes in Environmental and Health Studies  （Taylor Available online 1975）
卷期: Volume 11, issue 4  

页码: 127-129

 

ISSN:0021-1915

 

年代: 1975

 

DOI:10.1080/10256017508543753

 

出版商: Taylor & Francis Group

 

关键词: activation analysis;carbon content;cyclotrons;deuterons;nitrogen isotopes,13N;radiometric analysis;semiconductor materials;silicon

 

数据来源: Taylor

 

摘要:

Die zerstörungsfreie Kohlenstoffbestimmung in Halbleitersilizium durch Deuteronenbestrahlung am Zyklotron nach der Reaktion12C(d, n)13N stellt unter Beachtung der möglichen Fehlerquellen, die einen erhöhten C-Gehalt vortäuschen können, wie SiC-Inhomogenitäten, Schleifmittelreste, implantierten Kohlenstoff aus dem Beschleunigervakuum, eine zuverlässige und zur Qualitätskontrolle geeignete Methode dar. Die Nachiweisgrenze liegt bei 0,07 ppm.

 

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