A Method for Measuring the Thickness of Epitaxial Silicon Films

 

作者: William C. Dash,  

 

期刊: Journal of Applied Physics  （AIP Available online 1962）
卷期: Volume 33, issue 7  

页码: 2395-2396

 

ISSN:0021-8979

 

年代: 1962

 

DOI:10.1063/1.1728973

 

出版商: AIP

 

数据来源: AIP

 

 

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