作者: G. Jordan Maclay,
期刊: Journal of Vacuum Science&Technology B: Microelectronics Processing and Phenomena (AIP Available online 1985) 卷期: Volume 3, issue 3
页码: 925-926
ISSN:0734-211X
年代: 1985
DOI:10.1116/1.583085
出版商: American Vacuum Society
关键词: IMAGES;MASKING;PHOTOGRAPHY;LITHOGRAPHY;MICROELECTRONICS;CAMERAS;RESOLUTION;FABRICATION;COATINGS;ETCHING
数据来源: AIP
点击下载: PDF (230KB)
返 回
版权所有 © 2009 NSTL国家科技图书文献中心
咨询热线:800-990-8900 010-58882057 Email:service@nstl.gov.cn
地址:北京市复兴路15号 100038 京ICP备05017586号