AbstractBei einer Reihe von Beschichtungsverfahren kommt es zu Dehnungen in den Schichten und zu einem ungewollten säulenartigen Schichtaufbau. Innerhalb der Säulen tritt längs der Säulenradien ein Abbau der Dehnungen vom Säuleninneren zur Säulenwand hin auf. Diese Dehnungsrelaxation verursacht eine asymmetrische Verbreiterung der Röntgenreflexe dieser Schichten. Ein Verfahren wird vorgestellt, die Reflexprofile von Schichten mit säulenartigem Aufbau und Dehnungsrelaxation zu berechnen. Die Möglichkeit, aus einer Anpassung eines berechneten Profiles an ein gemessenes Profil den mittleren Radius der Säulen und die Dehnungsrelaxation zu bestimmen, wird d