ISSN:0947-076X    

DOI:10.1002/vipr.19990110302

出版商:WILEY‐VCH Verlag    

年代:1999

数据来源: WILEY

ISSN:0947-076X    

DOI:10.1002/vipr.19990110303

出版商:WILEY‐VCH Verlag    

年代:1999

数据来源: WILEY

ISSN:0947-076X    

DOI:10.1002/vipr.19990110304

出版商:WILEY‐VCH Verlag    

年代:1999

数据来源: WILEY

摘要:

AbstractFür großtechnische Anwendungen in der Kunstfaserindustrie haben sich Produktdampf betriebene Strahlpumpen in Kombination mit Flüssigkeitsring‐Pumpen zur Erzeugung von Vakuum bewährt und inzwischen durchgesetzt. Die wichtigsten Vorteile solcher Vakuumsysteme sind hohe Betriebssicherheit, geringer Verschleiß, kundenspezifische Gestaltung, niedrige Umweltbelastung, günstige Investitionskosten und einfache Bedien

ISSN:0947-076X    

DOI:10.1002/vipr.19990110305

出版商:WILEY‐VCH Verlag    

年代:1999

数据来源: WILEY

摘要:

AbstractThe pumping speed of a turbomolecular pump is usually measured by injecting a stationary known gas flow via a standardised test dome into the pump and measuring the equilibrium pressure in the test dome. The ratio of gas throughput and pressure is just the pumping speed. In practice, the pressure can be conveniently and accurately measured, whereas the convenient and accurate throughput measurement is a challenging experimental problem. The present paper reports on a new method for measuring the pumping speed in which the throughput is generated by the pumping down of a vessel via an orifice. From the decrease of vessel pressure with time, and from known vessel volume, the throughput can be directly and accurately derived. Exploring measurements by the new method in fact give high accuracy, systematical error sources are practically negligible.

ISSN:0947-076X    

DOI:10.1002/vipr.19990110306

出版商:WILEY‐VCH Verlag    

年代:1999

数据来源: WILEY

摘要:

AbstractDie Prozesse bei der Schichtabscheidung im PLD‐Verfahren werden systematisch beschrieben. Exemplarische Ergebnisse zur Prozeßentwicklung und Schichtanalyse mittels Ramanspektroskopie und nano‐Härtemessung werden vorges

ISSN:0947-076X    

DOI:10.1002/vipr.19990110307

出版商:WILEY‐VCH Verlag    

年代:1999

数据来源: WILEY

摘要:

AbstractDer Artikel beschreibt verschiedene kraftmikroskopische Betriebsarten (statische und dynamische Kraftmikroskopie). Anhand unterschiedlicher Proben, vornehmlich Polycarbonat, wird der Einfluß einer ECR‐Plasmabehandlung sowie von Aluminium‐Beschichtungen gezeigt. Die Plasmabehandlung führt zu einer minimalen Morphologieänderung im nm‐Bereich. Schlecht haftendes Aluminium auf unbehandeltem Polycarbonat konnte nur mittels dynamischer Kraftmikroskopie abgebilde

ISSN:0947-076X    

DOI:10.1002/vipr.19990110308

出版商:WILEY‐VCH Verlag    

年代:1999

数据来源: WILEY

摘要:

AbstractFeingußverfahren werden zunehmend unter Vakuum durchgeführt. Die dazu bisher eingesetzten ölgedichteten Vakuumpumpen sind in diesem Umfeld sehr wartungsanfällig. Versuche mit trockenlaufenden Klauenvakuumpumpen haben gezeigt, daß dieser Pumpentyp für solche staubbelasteten Anwendungen hervorragend geeigne

ISSN:0947-076X    

DOI:10.1002/vipr.19990110309

出版商:WILEY‐VCH Verlag    

年代:1999

数据来源: WILEY

摘要:

AbstractZur Kalibrierung der Empfindlichkeit von Helium‐Lecksuchern werden Testlecks mit bekanntem Helium‐Gasstrom eingesetzt. Weit verbreitet ist eine Bauform von Testlecks, bei der sich das Gas in einem Reservoir befindet und mittels Permeation durch eine Wand austritt. Bei konstanter Temperatur wird ein zeitlich konstanter Leckstrom erwartet, der aufgrund des Gasverlustes allmählich geringfügig abnimmt (typisch −1% pro Jahr). Dieses Verhalten wird bei Testlecks mit Quarzglaswand auch tatsächlich beobachtet. Bei Testlecks mit Kunststoffwand treten jedoch erhebliche Schwankungen auf, die nicht verstanden sind. Ergänzend werden gemessene Reaktionszeiten der Leckrate auf Änderungen der Temperatur und des Fülldrucks für Lecks mit Quarzglaswand und mit Kunststoffwan

ISSN:0947-076X    

DOI:10.1002/vipr.19990110310

出版商:WILEY‐VCH Verlag    

年代:1999

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摘要:

AbstractAuch oder gerade im Zeitalter der Trockenläufer, sind Schmierstoffe und/oder funktionelle Flüssigkeiten ein wesentlicher, intgraler Teil jeder Vakuumpumpe. Dieser Artikel gibt einen Überblick über alle Arten moderner Schmierung in der Vakuumtechnologie: Fluids, Fette und Beschichtun

ISSN:0947-076X    

DOI:10.1002/vipr.19990110311

出版商:WILEY‐VCH Verlag    

年代:1999

数据来源: WILEY