ISSN:0947-076X    

DOI:10.1002/vipr.19940060402

出版商:WILEY‐VCH Verlag    

年代:1994

数据来源: WILEY

ISSN:0947-076X    

DOI:10.1002/vipr.19940060403

出版商:WILEY‐VCH Verlag    

年代:1994

数据来源: WILEY

摘要:

AbstractIn dieser Übersichtsarbeit wird von der Entwicklung der plasmagestützten CVD‐Verfahren, den Grundlagen der Gasentladung, experimentellen Einrichtungen zur PACVD‐Beschichtung und einigen Anwendungsbeispielen berichtet. Als wesentliche Punkte sind die Beschichtungen mit dem konventionellen Precursor TiCl4und die Weiterentwicklung unter Verwendung von metallorganischen Verbindungen als Precursoren herausgegriffen. Es wird gezeigt, daß der Entwicklungsstand der PACVD‐Verfahren den industriellen Einsatz rech

ISSN:0947-076X    

DOI:10.1002/vipr.19940060404

出版商:WILEY‐VCH Verlag    

年代:1994

数据来源: WILEY

摘要:

AbstractHochvakuumpumpen besitzen einen maximalen Einlaßdruck, oberhalb dessen sie nicht mehr ordnungsgemäß funktionieren. Für den Betrieb einer Vakuumanlage ist es wichtig, eine Annäherung an die Überlastgrenzen zu erkennen und entsprechend zu reagieren. Der vorliegende Aufsatz beschäftigt sich mit grundlegenden Überlegungen, ab welchem Druck eine Hochvakuumpumpe eingesetzt wird, wobei die besondere Bedeutung des Gasdurchflusses gegenüber der Bedeutung des Drucks herausgearbeitet wird. Der Umschaltpunkt zwischen Grob‐Pumpe und Hochvakuum‐Pumpe hängt vom Verhältnis der Saugvermögen beider Pumpen ab. Es werden praktische Empfehlungen für die Auslegung und den Betrieb von Anlagen gegeben. Eine Überlastung von Hochvakuum‐Pumpen kann zu Problemen führen (z. B. Rückströmung und Ölverlust) sowohl bei gastransportierenden Pumpen (Diffusions‐ und Turbomolekular‐Pumpen) als auch bei gasbindenden Pumpen (Ionenzerstäüber‐ und Kryo‐Pumpen). Um diese zu vermeiden, sollte der vorübergehende Druckanstieg während des Umschaltens nicht

ISSN:0947-076X    

DOI:10.1002/vipr.19940060405

出版商:WILEY‐VCH Verlag    

年代:1994

数据来源: WILEY

摘要:

AbstractDer Artikel gibt einen Überblick über die Beschleunigeranlage der GSI. Charakteristische Bauteile und Materialien werden beschrieben. Das Pump‐ und Meßsystem für die Anlage wird dargestellt, und die Problemkreise Beheizung und Steuerung werden angesprochen. Der Bericht schließt mit einer Darstellung der ersten Betriebserfah

ISSN:0947-076X    

DOI:10.1002/vipr.19940060406

出版商:WILEY‐VCH Verlag    

年代:1994

数据来源: WILEY

ISSN:0947-076X    

DOI:10.1002/vipr.19940060407

出版商:WILEY‐VCH Verlag    

年代:1994

数据来源: WILEY

ISSN:0947-076X    

DOI:10.1002/vipr.19940060408

出版商:WILEY‐VCH Verlag    

年代:1994

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摘要:

AbstractDas Ziel der Modifikation von Edelstahloberflächen durch Einwirken eines Inertgas‐ bzw. Reaktivgasplasmas bestand in einer Reduzierung ihrer Gasabgaberate. Diese Aufgabenstellung ist insbesondere interessant beim Einsatz des Materials in größeren UHV‐Anlagen, wo ein Ausheizen innerer Oberflächen nicht mehr ökonomisch vertretbar ist.Die untersuchten Proben wurden in einer Gleichstrom‐Glimmentladung bzw. Mikrowellenentladung dem Beschuß mit Argon‐ und Sauerstoffionen sowie Elektronen ausgesetzt. Im Vergleich zur unbehandelten Probe erfolgte eine Untersuchung ihrer Oberflächen hinsichtlich Topographie sowie chemischer Zusammensetzung (Tiefenprofil) mit Hilfe von Raster‐Elektronen‐Mikroskopie (REM), Auger‐Elektronen‐Spektroskopie (AES) und Röntgen‐Photoelektronen‐Spektroskopie (XPS). Die erzielten Oberflächenmodifikationen durch die verschiedenen Probenbehandlungen wurden mit den G

ISSN:0947-076X    

DOI:10.1002/vipr.19940060409

出版商:WILEY‐VCH Verlag    

年代:1994

数据来源: WILEY

ISSN:0947-076X    

DOI:10.1002/vipr.19940060410

出版商:WILEY‐VCH Verlag    

年代:1994

数据来源: WILEY

ISSN:0947-076X    

DOI:10.1002/vipr.19940060411

出版商:WILEY‐VCH Verlag    

年代:1994

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