1. |
Dramatischer Preisverfall bei Bauteilen der Halbleitertechnik |
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Vakuum in Forschung und Praxis,
Volume 11,
Issue 2,
1999,
Page 63-63
Johann Scherle,
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PDF (122KB)
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ISSN:0947-076X
DOI:10.1002/vipr.19990110202
出版商:WILEY‐VCH Verlag
年代:1999
数据来源: WILEY
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2. |
Unternehmen und Personen |
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Vakuum in Forschung und Praxis,
Volume 11,
Issue 2,
1999,
Page 66-69
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PDF (415KB)
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ISSN:0947-076X
DOI:10.1002/vipr.19990110203
出版商:WILEY‐VCH Verlag
年代:1999
数据来源: WILEY
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3. |
Dünnschichtverdampfer in der thermischen Trenntechnik |
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Vakuum in Forschung und Praxis,
Volume 11,
Issue 2,
1999,
Page 71-77
Bernhard Kaiser,
Michael Kranz,
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PDF (875KB)
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摘要:
AbstractSo wertvoll Dünnschichtverdampfer für die thermische Verfahrenstechnik sind, so schwierig ist ihre Dimensionierung und Vorausberechenbarkeit. Trotz vieler Untersuchungen fanden sich mathematische Beschreibungen stets nur für sehr begrenzte Gültigkeitsbereiche. Für die Auslegung von Dünnschichtverdampfern ist man gezwungen auf umfangreiche Erfahrungswerte zurückzugreifen. Ohne Technikumsversuche kommt man jedoch meistens nic
ISSN:0947-076X
DOI:10.1002/vipr.19990110204
出版商:WILEY‐VCH Verlag
年代:1999
数据来源: WILEY
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4. |
Feingießverfahren für hochreaktive Metalle am Beispiel Titan |
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Vakuum in Forschung und Praxis,
Volume 11,
Issue 2,
1999,
Page 79-82
Roland Waitz,
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摘要:
AbstractTitan ist wegen seiner physikalischen chemischen und biologischen Eigenschaften ein ideales Material für Implantate, chemischen Apparatebau und für die Schmuckindustrie. Seine Verarbeitung zu kompliziert geformten Kleinteilen kann jedoch wegen seiner Aggressivität im geschmolzenen Zustand nur in sehr teueren Anlagen erfolgen. Im folgenden Artikel wird ein preisgünstiges Verfahren beschrieben wie sich Teile nach dem altbewährten Induktiven Schleudergußverfahren herstellen lassen. Hinsichtlich der mechanischen Festigkeit sind nach dieser Technik hergestellte Titanteile gegenüber den konventionell produzierten nur geringen Einschränkungen unte
ISSN:0947-076X
DOI:10.1002/vipr.19990110205
出版商:WILEY‐VCH Verlag
年代:1999
数据来源: WILEY
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5. |
Elektrische Isolation mit Aluminiumoxid |
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Vakuum in Forschung und Praxis,
Volume 11,
Issue 2,
1999,
Page 83-85
Helmut Mayer,
Erhard Heinicke,
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摘要:
AbstractIn diesem Beitrag wird über Keramik‐Metall‐Verbindungen berichtet, die in der Elektrotechnik als Strom‐ und Spannungsdurchführungen verwendet werden. Der Anwender erhält Auskunft über die Auswahl Kriterien geeigneter Werkstoffe und spezielle Konstruktionsmerkmale solcher Produkte. An einigen Beispielen wird ihre Anwendungsbreite dem
ISSN:0947-076X
DOI:10.1002/vipr.19990110206
出版商:WILEY‐VCH Verlag
年代:1999
数据来源: WILEY
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6. |
Heliumlecksuche unter extremen Prüfbedingungen |
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Vakuum in Forschung und Praxis,
Volume 11,
Issue 2,
1999,
Page 87-90
Gerald Schröder,
Fred Pauly,
João da Cruz Payão Filho,
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摘要:
AbstractUnter den bekannten Lecksuchverfahren hat sich die Dichtheitsprüfung mit Helium als Spürgas auf Grund ihrer hohen Empfindlichkeit und vielseitigen Anwendungsmöglichkeit als universelles Verfahren in der industriellen Fertigung und im Forschungsbereich etabliert. Es gibt verschiedene Prüfvarianten, die standardmäßig bei einem Differenzdruck von Δp = 1 bar und bei Raumtemperatur durchgeführt werden. Wenn aber in Sonderfällen eine Aussage zur Dichtheit eines Bauteils unter besonderen Betriebsbedingungen erforderlich ist, muss hierfür ein spezieller Prüfaufbau konzipiert werden.Im Bericht werden zwei Prüfungen unter extremen Prüfbedingungen mit den dazu erforderlichen Prüfaufbauten vorgestellt.Im ersten Fall wurden sowohl Aluminium/Edelstahl — Reibschweißverbindungen als auch Rohr‐Klemmringverschraubungen (Fa. SWAGELOK®) bei den geforderten außergewöhnlichen Betriebsbedingungen von −196 °C und 10 bar Überdruck auf Dichtheit getestet und für spezielle Anwendungen qualifiziert. Dazu wurden die Testobjekte in einen Vakuumbehälter eingebaut, komplett in flüssigen Stickstoff eingetaucht und mit Druck beaufschlagt. Über einen an den Vakuum‐Rezipienten angeschlossenen Helium‐Leckdetektor konnte dann die integrale Helium‐Leckagerate direkt bestimmt werden. Beide Verbindungsarten erfüllten die gestellten Anforderungen und wiesen keine Leckageraten im Bereich>10−9mbar ·l· s−1auf.Im zweiten Fall wurden Untersuchungen zum Dichtverhalten von Rohr‐Steckverbindungen für die Gaszuführung an Hochtemperatur‐Brennstoffzellen unter den späteren Betriebsbedingungen, d.h. bei 950 °C und einem Differenzdruck von 200 mbar, durchgeführt. Die Messungen ergaben Leckageraten bei 950 °C im Bereich von 10−2bis 10−3mbar ·l· s−1. Die Versuche haben gezeigt, dass die Steckverbindungen für einen Einsatz bei 950 °C geeignet sind. Die Leckagerate läßt sich aber durch Veränd
ISSN:0947-076X
DOI:10.1002/vipr.19990110207
出版商:WILEY‐VCH Verlag
年代:1999
数据来源: WILEY
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7. |
Einfluß der Behandlungstemperatur beim plasmaunterstützten Gasphasenborieren mittels BCl3 |
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Vakuum in Forschung und Praxis,
Volume 11,
Issue 2,
1999,
Page 92-95
Emilio Rodríguez Cabeo,
Günther Laudien,
Swen Biemer,
Kyong‐Tschong Rie,
Steffen Hoppe,
Michael Frick,
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摘要:
AbstractDer Einfluß der Temperatur beim Plasmaborieren in einer BCl3‐H2‐Ar‐Gasatmosphäre auf das Borierergebnis wird durch Anwendung der optischen Emissionsspektroskopie untersucht. Es werden verschiedene Teilchenarten im Plasma identifiziert. Eine besondere Wirkung auf den Schichtaufbau hat das Teilchendichteverhältnis B*/Cl+*, das u.a. von der Behandlungstemperatur abhängt. Unter Berücksichtigung der Entladungsbedingungen gelingt es durch Stufung der Temperatur korrosive Reaktionen an der Substratoberfläche weitgehend zu unterdrücken und porenfreie Boridschichten
ISSN:0947-076X
DOI:10.1002/vipr.19990110208
出版商:WILEY‐VCH Verlag
年代:1999
数据来源: WILEY
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8. |
Practical Transfer of Plasma Surface Technologies |
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Vakuum in Forschung und Praxis,
Volume 11,
Issue 2,
1999,
Page 96-97
Reinar Grün,
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PDF (207KB)
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ISSN:0947-076X
DOI:10.1002/vipr.19990110209
出版商:WILEY‐VCH Verlag
年代:1999
数据来源: WILEY
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9. |
Plasma Cleaning in the Capacitor Production |
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Vakuum in Forschung und Praxis,
Volume 11,
Issue 2,
1999,
Page 98-99
P. Krüger,
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PDF (234KB)
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摘要:
AbstractDie Entfernung organischer Verunreinigungen von Metall‐ oder Polymeroberflächen mit Hilfe eines Sauerstoffplasmas ist seit längerem bekannt und in der Industrie als Verfahren etabliert. Dennoch stellen die sehr unterschiedlichen technischen Umsetzungsbedingungen den Anlagenhersteller vor Probleme, die in manchen Industriezweigen eine Einführung erschwert. Am Beispiel der Reinigung von Kondensatoren sollen einige dieser Aspekte kurz diskutiert we
ISSN:0947-076X
DOI:10.1002/vipr.19990110210
出版商:WILEY‐VCH Verlag
年代:1999
数据来源: WILEY
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10. |
Application Aspects of PVD and PACVD Processes Coating large Dies and Moulds |
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Vakuum in Forschung und Praxis,
Volume 11,
Issue 2,
1999,
Page 99-99
C. Jarms,
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PDF (124KB)
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ISSN:0947-076X
DOI:10.1002/vipr.19990110211
出版商:WILEY‐VCH Verlag
年代:1999
数据来源: WILEY
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