ISSN:0947-076X    

DOI:10.1002/vipr.19980100202

出版商:WILEY‐VCH Verlag    

年代:1998

数据来源: WILEY

ISSN:0947-076X    

DOI:10.1002/vipr.19980100203

出版商:WILEY‐VCH Verlag    

年代:1998

数据来源: WILEY

ISSN:0947-076X    

DOI:10.1002/vipr.19980100204

出版商:WILEY‐VCH Verlag    

年代:1998

数据来源: WILEY

ISSN:0947-076X    

DOI:10.1002/vipr.19980100205

出版商:WILEY‐VCH Verlag    

年代:1998

数据来源: WILEY

ISSN:0947-076X    

DOI:10.1002/vipr.19980100206

出版商:WILEY‐VCH Verlag    

年代:1998

数据来源: WILEY

摘要:

AbstractDem Leser wird die Funktionsweise moderner Kryopumpen erläutert inklusive der Pumpprozesse und der verschiedenen Regenerier‐Verfahren. Anhand charakteristischer Eigenschaften von Kryopumpen erhält der potentielle Anwender einen Leitfaden zur Bewertung, ob diese Pumpen in seinem speziellen Vakuum‐Prozess nutzbringend eingesetzt werden k

ISSN:0947-076X    

DOI:10.1002/vipr.19980100207

出版商:WILEY‐VCH Verlag    

年代:1998

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摘要:

AbstractDünne Schichten haben unsre Welt verändert. Viele Produkte unseres modernen Lebens, wie z. B. Personal Computer, Compakt Disks oder energiesparende Architekturglasbeschichtungen gäbe es ohne die Vakuumbeschichtungstechnologie nicht.Während der letzten 20 Jahre haben sich PVD‐ und PECVD‐Verfahren zur Erzeugung dünner Schichten in einer riesigen Vielzahl verschiedener Anwendungen etabliert. Neben der Mikroelektronik gehören in der nahen Zukunft die flachen Bildschirme, Datenspeicher Optik/Glas‐Beschichtung zu ihren Hauptfeldern.Der folgende Beitrag zeigt die augenblickliche Marktsituation auf und versucht den derzeitigen Stand und zukünftige Trends der Vakuumbeschichtungstechnologie an hand einiger ausgewählter Beispiele zu cha

ISSN:0947-076X    

DOI:10.1002/vipr.19980100208

出版商:WILEY‐VCH Verlag    

年代:1998

数据来源: WILEY

摘要:

AbstractDas Verfahren der physikalischen Dampfabscheidung (PVD) hat sich in den letzten 60 Jahren von seinen Ursprüngen zu einer breit eingesetzten Beschichtungstechnik entwickelt. Dabei ist die ursprüngliche Methode, das Aufdampfen, auch die bevorzugte Methode für das ursprüngliche Anwendungsgebiet, die Optik, geblieben. Mit der technischen Entwicklung und der Zunahme der Anwendungen wuchsen auch die Forderungen nach einer größeren Auswahl an Beschichtungsmaterialien. Gleichzeitig mußte die Qualität der Materialien mit den Veränderungen der Verfahrenstechnik und mit der wachsenden Produktivität der Anlagen schritthalten. Obwohl die Auswahl an geeigneten Aufdampfsubstanzen vergleichsweise gering ist, können die Labors der Materiallieferanten auch heute nicht über einen Mangel an Arbeit klagen. Neue Anwendungen der Aufdampftechnik auch außerhalb der Optik und die bisher nur an wenigen Beispielen aufgezeigten Möglichkeiten organischer Verbindungen lassen im Gegenteil die Anzahl der Entwicklungsthemen ansteigen. Der folgende Aufsatz beschreibt Anforderungen, Entwicklung und Trends für Aufdampfsubstanzen aus der Sicht eines Mater

ISSN:0947-076X    

DOI:10.1002/vipr.19980100209

出版商:WILEY‐VCH Verlag    

年代:1998

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摘要:

AbstractFusionsreaktoren verwenden zum Einschluß des Plasmas hohe Magnetfelder, die durch supraleitende Spulen erzeugt werden. Die für den zukünftigen Reaktor ITER benötigten Spulen haben eine Größe von ca. 18 m × 10 m. Ihre Konstruktion ist eine technische Herausforderung: der Spulenkörper unterliegt einer großen mechanischen Beanspruchung infolge der magnetischen Kräfte und erheblichen thermischen Spannungen infolge der Abkühlung auf 4,2 K. Dennoch muß die Spule absolut dicht sein, und es darf kein Kältemittel Helium austreten. Im Forschungszentrum Karlsruhe werden Prototypen der Spulen im Betrieb unter Hochvakuum getestet. Der Prüfbehälter hat ein Volumen von 170 m3. Er wird von einer Öl‐Diffusionspumpe mit einem Nennsaugvermögen von 16 000 l/s gepumpt. Zum Vorpumpen und Evakuieren des Behälters dient ein Pumpstand mit einer Wälzkolben‐ und einer Drehschieberpumpe. Das verfügbare effektive Saugvermögen der Diffusionspumpe wurde mit zwei Verfahren gemessen: mittels des sich einstellenden Gleichgewichtsdrucks bei Einspeisung eines beständigen Gasstroms und mittels der zeitlichen Abnahme des Drucks beim Abpumpen. Die Meßwerte ergeben ein effektives Saugvermögen von ca. 2 000 l/s. Hauptgrund für das verglichen zum Nennsaugvermögen kleine effektive Saugvermögen sind die hohen Strömungsverluste in den zwischengeschalteten Anschlußbauteilen und Dampfsperren. Wird die Heizleistung der Diffusionspumpe halbiert, nimmt das effektive Saugvermögen nur geringfügig ab, während die maximale

ISSN:0947-076X    

DOI:10.1002/vipr.19980100210

出版商:WILEY‐VCH Verlag    

年代:1998

数据来源: WILEY

ISSN:0947-076X    

DOI:10.1002/vipr.19980100211

出版商:WILEY‐VCH Verlag    

年代:1998

数据来源: WILEY