ISSN:0947-076X    

DOI:10.1002/vipr.19960080402

出版商:WILEY‐VCH Verlag    

年代:1996

数据来源: WILEY

ISSN:0947-076X    

DOI:10.1002/vipr.19960080403

出版商:WILEY‐VCH Verlag    

年代:1996

数据来源: WILEY

摘要:

AbstractDie Stärken der Laser‐Massenspektrometrie liegen in ihrer Schnelligkeit und Mobilität. Als typische Multielementmethode erlaubt sie eine einfache Elementübersicht einer Probe bei recht einfacher Probenvorbereitung.Basierend auf dieser Methode ist LASMA (LASer Mass Analyser) ein robustes Gerät welches zudem für den Betrieb nur elektrische Energie in der Größenordnung von 1 kW benötigt. Damit ist es ideal für den Vor‐Ort‐Einsatz. In der Umweltanalytik hat das Gerät seine Stärken im Bereich der Screening‐Untersuchungen. Selbst organische Verunreinigungen lassen sich anhand des Kohlenstoff‐, Sauerstoff‐oder Chlornachweises verfolgen bzw. eingrenzen. Die einzigartige Kombination von Mikroskop und Massenspektrometer ermöglicht eine breite Palette von Anwendungen insbesondere im Bereich der Fehlstellenanalytik. Selbst chemischen Methoden schwer zugängliche Matrices wie Keramiken oder Gläser lassen sich mit dem Gerät ohne große Probleme analysieren.Ist damit das LASMA‐Gerät ein Universalgerät oder der Stein der Weisen? Sicher nicht, es hat ‐wie jedes andere Gerät‐ seine ganz speziellen Anwendungsbereiche. LASMA analysiert ortsaufgelöst, d.h. es wird ein Volumen von ca. 30 μm Durchmesser und einer Dicke von ca. 0.1 μm analysiert. LASMA kann und will nicht wie bei der Atomabsorbtionsspektrometrie (AAS) den Anteil eines Elementes in einer großvolumigen Probe von mehreren Gramm feststellen, wobei dort natürlich ein Mittelwert über die gesamte Probe gemessen wird. Gerade durch die Ortsauflösung des LASMA wird die phantastische Möglichkeit eröffnet, Inhomogenitäten in einer Probe aufzuspüren. LASMA erset

ISSN:0947-076X    

DOI:10.1002/vipr.19960080404

出版商:WILEY‐VCH Verlag    

年代:1996

数据来源: WILEY

摘要:

AbstractDer Energiebedarf für Beleuchtungszwecke spielt wirtschaftlich eine bedeutende Rolle, die Verringerung der Kosten durch Einsatz effizienter Lichtquellen ist deshalb eine wichtige Aufgabe. Forschungs‐ und Entwicklungsarbeiten auf diesem Gebiet sind auch zukünftig unumgänglich. Durch die Verwendung neuer Werkstoffe und Verfahren entstehen auch neue Lichtquellen. Keramische Werkstoffe haben schon vor einigen Jahren auf dem Gebiet der Hochdruck‐Natriumdampf‐Lampen zu einem Qualitätssprung geführt. Neuere Entwicklungen bei Hochdruck‐ Metallhalogendampf‐Lampen erschließen auch diesem Lichtquellentyp sehr gute Zukunftschancen. Aus Kostengründen werden derartige Lichtquellen in gesinterten Entladungsgefäßen gefertigt. Diese Gefäße lassen jedoch wegen des durchscheinenden Materials keine räumlich aufgelösten Untersuchungen zu. Für Grundlagenuntersuchungen sind durchsichtige Entladungsgefäße notwendig. Es wird eine Lösung vorgestellt, die durch gezielte technische Veränderungen den Einsatz von durchsichtigem, monokristallinem Saphir ermöglicht. Die vorliegende Beschreibung soll zeigen, daß durch Auswahl von geeigneten Materialien und Beeinflussung von wesentlichen Parametern das fügetechnische Problem einer temperaturfesten, vakuumdichten, elektrisch leitenden Verbindung gelöst werden kann. Insbesondere für Sonderfälle, bei denen Messungen an vergleichbaren Massenprodukten unzugänglich bleiben, ist dieser Weg nötig, um Versuchsgefäße zu erhalten und optische Di

ISSN:0947-076X    

DOI:10.1002/vipr.19960080405

出版商:WILEY‐VCH Verlag    

年代:1996

数据来源: WILEY

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AbstractDie Oberflächen‐Mikromechanik erlaubt die Herstellung komplexer mechanischer Strukturen mit Dimensionen im Mikrometer‐ Bereich. In diesem Artikel werden zunächst die Grundzüge der Technologie der Oberflächen‐Mikromechanik dargestellt. Die Adhäsion der Strukturen wird als Beispiel für zu lösende Probleme bei der Herstellung mikromechanischer Systeme aufgezeigt. Mikromechanischer Resonatoren als Teststrukturen zur Bestimmung mechanischer Parameter werden vorgestellt. Schließlich wird auf die kostengünstige monolithische Integration mit CMOS‐Elektr

ISSN:0947-076X    

DOI:10.1002/vipr.19960080406

出版商:WILEY‐VCH Verlag    

年代:1996

数据来源: WILEY

ISSN:0947-076X    

DOI:10.1002/vipr.19960080407

出版商:WILEY‐VCH Verlag    

年代:1996

数据来源: WILEY

摘要:

AbstractEin seit einigen Jahren neu etabliertes Ionenimplantationsverfahren, die sogenannte Plasmaimmersionsimplantation (PIII), wurde bei Edelstahlproben angewandt, um definiert Sauerstoff‐ und Stickstoffionen in die Oberfläche zu implantieren und damit oxidische bzw. nitridische Barriereschichten für die Gasdiffusion zu erzeugen. Mit Hilfe oberflächenanalytischer Methoden konnte gezeigt werden, daß unterhalb der äußersten Oberfläche Sauerstoff bzw. Stickstoff über einen bestimmten Tiefenbereich homogen eingebaut wurde. Einige Meßergebnisse zum Gasabgabeverhalten dieser so plasmabehandelten Oberflächen werden vorgestellt und auf die Oberflächenmodifikation durch die Plasmabehandlung bzw. die Wirkung der Implantationsschicht z

ISSN:0947-076X    

DOI:10.1002/vipr.19960080408

出版商:WILEY‐VCH Verlag    

年代:1996

数据来源: WILEY

摘要:

AbstractEs wird eine Meßapparatur zur gasartselektiven Gasabgabemessung vorgestellt und die notwendige Meßdatenaufbereitung beschrieben. Die damit gemessenen partiallen und totalen Gasabgaberaten von einigen wichtigen Metallen, Plasten, Kohlenstoffen und Schichten nach verschiedenen Vorbehandlungen werden dargestellt. Diese Gasabgaberaten werden quantitativ verglichen und qualitativ ausgewertet. Für jedes Gas wurde eine separate Leitwertkorrektur vorgenommen. Für Metalle wurde der Einfluß von gasabgabereduzierenden Schichten und von Reinigungsprozeduren untersucht. Die Messungen an verschiedenen Plasten zeigen den jeweiligen Anteil von Kohlenwasserstoffen an der Gesamtausgasung dieser Stoffe. Für Messungen an Graphitproben wird der Anteil der Wasserstoffausgasung disku

ISSN:0947-076X    

DOI:10.1002/vipr.19960080409

出版商:WILEY‐VCH Verlag    

年代:1996

数据来源: WILEY

ISSN:0947-076X    

DOI:10.1002/vipr.19960080410

出版商:WILEY‐VCH Verlag    

年代:1996

数据来源: WILEY

ISSN:0947-076X    

DOI:10.1002/vipr.19960080411

出版商:WILEY‐VCH Verlag    

年代:1996

数据来源: WILEY