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Journal of Vacuum Science&Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films


ISSN: 0734-2101        年代：1991
当前卷期：Volume 9  issue 6     [ 查看所有卷期 ]

年代：1991
 
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51. Erratum: Determination of electrode/substrate surface temperatures through the solid–liquid transition of metals/eutectics in capacitively coupled radio frequency‐plasma chemical vapor deposition reactors [J. Vac. Sci. Technol. A8, 3954 (1990)]
  Journal of Vacuum Science&Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films,   Volume  9,   Issue  6,   1991,   Page  3183-3183

M. Shinohara,   H. Tashiro,   K. Saio,   K. Arai,   K. Takayama,  

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