ISSN:0947-076X    

DOI:10.1002/vipr.2230030102

出版商:WILEY‐VCH Verlag    

年代:1991

数据来源: WILEY

ISSN:0947-076X    

DOI:10.1002/vipr.2230030103

出版商:WILEY‐VCH Verlag    

年代:1991

数据来源: WILEY

ISSN:0947-076X    

DOI:10.1002/vipr.2230030104

出版商:WILEY‐VCH Verlag    

年代:1991

数据来源: WILEY

ISSN:0947-076X    

DOI:10.1002/vipr.2230030105

出版商:WILEY‐VCH Verlag    

年代:1991

数据来源: WILEY

摘要:

AbstractWir haben trockenverdichtende Vakuumpumpen vom Klauenprinzip und ölgedichtete Drehschiebervakuumpumpen als Vorpumpen beim Ätzen von AlSi 1‐Substraten erprobt. Beide Pumptypen mußten dabei gleichermaßen sublimierendes Aluminiumtrichlorid (AlCl3) wie korrosives Bortrichlorid (BCl3) und Chlor (Cl2) bewältigen. In Drehschiebervakuumpumpen wird die Hauptmenge des AlCl3als Feststoff im Öl akkumuliert und muß durch geeignete Ölfilter aus dem Öl entfernt werden. Die zunehmende Zersetzung des teueren PFPE‐Öls durch AlCl3, die sich durch eine schrittweise Verschlechterung des erreichbaren Enddrucks bemerkbar macht, wurde IR‐spektroskopisch verfolgt. Nach einem Durchsatz von 10.000 Wafern muß der Ölfilter gewechselt werden. Nach 30.000 Wafern ist eine komplette Wartung der Drehschiebervakuumpumpe erforderlich. Demgegenüber wird, geeignete Betriebsweise vorausgesetzt, AlCl3problemlos durch die ölfrei verdichtende Vakuumpumpe hindurch gefördert.Etwa 100.000 Wafer wurden geätzt, ca. 4 kg AlCl3durch die Klauenpumpe gefördert, ohne daß eine Wartung erforderlich war. Die Pumpe wurde anschließend demontiert, sie befand si

ISSN:0947-076X    

DOI:10.1002/vipr.2230030106

出版商:WILEY‐VCH Verlag    

年代:1991

数据来源: WILEY

摘要:

AbstractMikrowellenplasmen weisen im Vergleich zu Entladungen bei Gleichspannung oder Hochfrequenz (13,56 MHz) hohe Elektronendichten und energien auf. Durch Magnetfeldunterstützung wird Elektronzyklotron‐Resonanz erreicht, die ein stabiles Plasma bei niedrigem Druck (∼ 1 Pa) und niedriger Leistung ermöglicht. Die Magnetfelder werden zusammen mit der Gasführung zur Lenkung des Plasmas eingesetzt. Zur Ankopplung der Mikrowellen‐Leistung dient eine Helix‐Wanderfeld‐Antenne. Es wird gezeigt, daß eine effektive Innenbeschichtung von Polyethylen‐Flaschen möglich ist. Als Sperrschicht gegenüber Hexan zeigen a‐Si:H‐Schichten aus der Abscheidung von vierprozentigem Silan in Argon eine

ISSN:0947-076X    

DOI:10.1002/vipr.2230030107

出版商:WILEY‐VCH Verlag    

年代:1991

数据来源: WILEY

摘要:

AbstractVon den Anfängen der Entwicklung der Turbomolekularpumpe ausgehend, wird die technische Entwicklung dieser Vakuumpumpe bis zum heutigen Stand der Technik behandelt. Die neuesten Kombinationen von Turbomolekularpumpen mit molekularen Pumpstufen ermöglichen den Einsatz von kleinen trockenen Vorpumpen. Trends für die zukünftige Entwicklung bei Turbomolekularpumpen werden erw

ISSN:0947-076X    

DOI:10.1002/vipr.2230030108

出版商:WILEY‐VCH Verlag    

年代:1991

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摘要:

AbstractEs wird an Hand von Beispielen versucht, die Anwendungsmöglichkeiten der Photoelektronenspektroskopie für die Optimierung und Entwicklung neuer Werkstoffe und technologischer Prozesse darzustellen. In diesem Zusammenhang wird auch auf die Vor‐ und Nachteile dieser Methode verwiesen und Möglichkeiten einer methodischen Weiterentwicklung aufgezeigt. Die angeführten Beispele machen auch deutlich, daß vielfach die Anwendung einer Methode der Oberflächenanalytik zur Lösung bestimmter Fragestellungen nicht ausreicht. Dies unterstreicht die Zweckmäßigkeit des Einsatzes von Kombinationsgeräten insbesondere dann, wenn die Geräte für applikative Anwendungen vorgesehen sind. Für die Untersuchung von Gas/Festkörper‐Wechselwirkungen bieten sich neben der Kombination von XPS, AES und SIMS vor allem die Thermode‐sorption und Möglichkeiten zur Bestimmung der geometrischen Anordnung der Oberflächenatome an (z.B. LEED). Zur Untersuchung von Festkörper/Festkörper‐Wechselwirkung wird vielfach die Transmissionselektronenmikroskopie (TEM) mit herangezogen. Der Einsatz von Kombinationsgeräten ermöglicht außerdem Aussagen von der gleichen Probenstelle, ohne befürchten zu müssen, daß die erhaltenen Ergebnisse durch Kontaminationen verfälscht sind. Neben der Verfälschung der analytischen Ergebnisse durch atmosphärische Kontamination muß stets einer sorgfältigen Präparation Rechnung getragen werden, da sonst durch Artefakte völlig f

ISSN:0947-076X    

DOI:10.1002/vipr.2230030109

出版商:WILEY‐VCH Verlag    

年代:1991

数据来源: WILEY

ISSN:0947-076X    

DOI:10.1002/vipr.2230030110

出版商:WILEY‐VCH Verlag    

年代:1991

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摘要:

AbstractDie Zusammenhänge zwischen Funktionskriterien und Schmierstoffanforderungen für Turbomolekularpumpen werden diskutiert.Ein qualitativer Vergleich unterschiedlicher Basisflüssigkeiten wird gegeben und anhand bestimmter wichtiger vakuumtechnischer Eigenschaften auch deren Einsatzspektrum erläut

ISSN:0947-076X    

DOI:10.1002/vipr.2230030111

出版商:WILEY‐VCH Verlag    

年代:1991

数据来源: WILEY