ISSN:0947-076X    

DOI:10.1002/vipr.19960080102

出版商:WILEY‐VCH Verlag    

年代:1996

数据来源: WILEY

ISSN:0947-076X    

DOI:10.1002/vipr.19960080103

出版商:WILEY‐VCH Verlag    

年代:1996

数据来源: WILEY

摘要:

AbstractPlasma diagnosis of a fusion reactor can be performed by means of samples which first are exposed to the plasma and then investigated by surface analysis techniques. Construction and tests of such a diagnosis system are described. This system uses a demountable sample chamber in which the samples can be transported under UHV conditions to a distant laboratory for surface analysis.

ISSN:0947-076X    

DOI:10.1002/vipr.19960080104

出版商:WILEY‐VCH Verlag    

年代:1996

数据来源: WILEY

摘要:

AbstractModerne Verfahren der Halbleitertechnik stellen an herkömmliche Aufdampfanlagen besondere Anforderungen. Außer prozeßrelevanten Zusatzfunktionen wie z. B. Substrat‐Bias und Heizung, muß auch das Vakuumsystem — z. B. hinsichtlich Partikelminimierung — ergänzt werden. Eine solche Komplettlösung wird exemplarisch beschrieben.Standard‐Laborsysteme, wie sie von allen großen Vakuumfirmen angeboten werden, sind zumeist modular ausrüstbar und umfassen ein Spektrum an üblichem Zubehör wie Widerstandsverdampfer, Elektronenstrahlverdampfer, Schwingquarze, Heizer usw.Beim Einsatz einer solchen Anlage im Umfeld einer Halbleiterfertigung sind siagnifikante Umrüstungen erforderlich.Im folgenden wird anhand eines Beispiels beschrieben, wie eine klare Spezifikation des Anwenders und die Kompetenz des Anlagenbauers zu einem adäqua

ISSN:0947-076X    

DOI:10.1002/vipr.19960080105

出版商:WILEY‐VCH Verlag    

年代:1996

数据来源: WILEY

摘要:

AbstractA description is given of the X‐ray facility installed at LAX (Laboratorio per Sperimentazioni con Radiazioni X), jointly operated in Palermo by the DEAF (Department of Energy and Physics Applications) of the University of Palermo and the IFCAT (Institute of Cosmic Physics and Informatics) of the Italian National Research Council. The X‐rays are produced by bombarding a target with energized electrons up to 60 keV.Depending on the material of the target, characteristic fluorescence lines as well as continuous bremsstrahlung is emitted.The X‐ray beam has an operational energy range of 0,1–25 keV with a flux of 1010–1012photons/sr · s; the beam, collimated on a length of 10,5 m, has a diameter at full aperture of 200 mm with a divergence of 1°.The beam line consists of:the X‐ray generatorthe Beam Channelthe Sample Chamber with a table capable of translation along the X, Y and Z axes and rotation around Y and Zthe Detector Chamber with translation movements along the X and Y axes and rotation around Y.The X‐ray generator chamber operates at 10−9hPa, whereas the other parts operate at 10−6hPa.The beam line has been developed by RIAL Vacuum S.p.A. following the specification

ISSN:0947-076X    

DOI:10.1002/vipr.19960080106

出版商:WILEY‐VCH Verlag    

年代:1996

数据来源: WILEY

摘要:

AbstractNach einer vergleichsweise langen Latenzzeit gewinnt der technologische Einsatz von Nichtgleichgewichts‐ und Niedertemperaturplasmen zunehmend an Dynamik. In den Jahren zuvor wurde zwar die Eignung derartiger Plasmen als eine attraktive Option auf materialtechnologische Zukunftsfelder im Grundsatz aufgezeigt, jedoch waren beispielhafte und erfolgreiche Demonstratoren eher selten.Durch erhebliche Fortschritte im Grundlagenbereich, der Verfügbarkeit von leistungsfähigen Simulationswerkzeugen und Plasmaquellen einschließlich ihrer zugehörigen Diagnostiken konnte in sehr unterschiedlichen industriellen Anwendungsfeldern der prinzipielle Nachweis der „Tauglichkeit”︁ von plasmabasierten Verfahren erbracht werden. Dies erfolgte insbesondere auch unter Berücksichtigung von zum Teil sehr stringenten ökonomischen und ökologischen Randbedingungen. Ein erfolgreicher Transfer dieser Technologie in die industrielle Praxis erfordert jedoch mehr. Diese Aussage bezieht sich auf die Akzeptanz, Risikobereitschaft und Langzeitstrategie von Unternehmen, die in diesem Bereich im Interesse einer Stärkung ihrer Wettbewerbsfähigkeit tätig werden wollen.In diesem Beitrag werden nach einigen einleitenden grundlegenden Überlegungen der Querschnitts‐ und Schlüsselcharakter der Plasmatechnologie in sehr unterschiedlichen Bereichen an Beispielen aufgezeigt, sowie Ansätze zum Übertrag in

ISSN:0947-076X    

DOI:10.1002/vipr.19960080107

出版商:WILEY‐VCH Verlag    

年代:1996

数据来源: WILEY

ISSN:0947-076X    

DOI:10.1002/vipr.19960080108

出版商:WILEY‐VCH Verlag    

年代:1996

数据来源: WILEY

摘要:

AbstractFür die Prüfung von Baugruppen und Komponenten unter weltraumähnlichen Bedingungen wird eine Thermovakuumkammer genutzt. Die ölfreie und schwingungsarme Vakuumerzeugung bis zu einem Enddruck von 3.10−6mbar wird mittels Kryopumpe und LN2‐gekühltem Kryobaffle realisiert. Die Umgebungstemperatur wird durch rechnergesteuerte Shrouds im Bereich von 83 K bis 373 K realisiert. Temperierflächen simulieren den unmittelbaren thermischen Einfluß eigener oder fremder Wärmequellen auf den Prüfling. Ein optisches Fenster (auf der Bedienseite des Rezipienten) gestattet Messungen des Einflusses von Vakuum und Temperatur auf optische Parameter von Prüflingen. Für die Montage von Prüflingen bzw. Meßeinrichtungen zur optischen Messung dienen beidseitig von der Rezipiententür angebrachte optische Bänke.Die Montage der Prüflinge erfolgt von einem Reinraumlabor aus. Umfangreiche modular einsetzbare Meßtechnik zur optischen Prüfung und Simulierung sowie Temperatur‐ und Kontaminationsmeßtechnik stehen zur Verfügung. Die Möglichkeit des Anschlusses verschiedener elektrischer und Fluiddurchführungen gestatten die Anpassung an unterschiedlich Aufgabenstellungen. An Beispielen wir der bisherige Einsatz der Ther

ISSN:0947-076X    

DOI:10.1002/vipr.19960080109

出版商:WILEY‐VCH Verlag    

年代:1996

数据来源: WILEY

ISSN:0947-076X    

DOI:10.1002/vipr.19960080110

出版商:WILEY‐VCH Verlag    

年代:1996

数据来源: WILEY

ISSN:0947-076X    

DOI:10.1002/vipr.19960080111

出版商:WILEY‐VCH Verlag    

年代:1996

数据来源: WILEY