ISSN:0947-076X    

DOI:10.1002/vipr.19970090102

出版商:WILEY‐VCH Verlag    

年代:1997

数据来源: WILEY

ISSN:0947-076X    

DOI:10.1002/vipr.19970090103

出版商:WILEY‐VCH Verlag    

年代:1997

数据来源: WILEY

ISSN:0947-076X    

DOI:10.1002/vipr.19970090104

出版商:WILEY‐VCH Verlag    

年代:1997

数据来源: WILEY

ISSN:0947-076X    

DOI:10.1002/vipr.19970090105

出版商:WILEY‐VCH Verlag    

年代:1997

数据来源: WILEY

摘要:

AbstractEin plasmaunterstütztes Aufdampfverfahren zur Herstellung optisch wirksamer dünner Schichten führt bereits bei niederen Substrattemperaturen zu hervorragenden Schichteigenschaften. Anhand der Untersuchungen von Einzelschichten im Vergleich zum konventionellen Verfahren wird der physikalische Effekt, welcher zur Verbesserung der Schichteigenschaften führt, verdeutlicht. Bei der Beschichtung von Kunststoff‐Brillengläsern wird die Durchlaufzeit bei Sicherstellung einer hohen Qualität des Endproduktes drastisch reduziert. Die Herstellung extrem temperaturstabiler Interferenzfilter für die Glasfaserübertragungstechnik demonstriert die Leistungsfähigkeit dieser noch relativ neu

ISSN:0947-076X    

DOI:10.1002/vipr.19970090106

出版商:WILEY‐VCH Verlag    

年代:1997

数据来源: WILEY

摘要:

AbstractOptisch dünne Schichten finden u.a. in der Feinoptik Anwendung. Insbesondere ist ihre Wirkung bei mehrlinsigen optischen Systemen wichtig. In speziellen Anlagen werden Materialien verdampft, die auf Substraten zu dünnen Schichten kondensieren. Aber auch die Arbeitsschritte Reinigen vor und Glätten nach dem Aufdampfen gehören zum Ablauf einer Dünnschichtfertigung. Die Vorteile der ionenunterstützten Beschichtung führen dazu, daß dieses Aufdampfverfahren zunehmend die konventionelle Bedampfung von geheizten Substraten ablöst (siehe a

ISSN:0947-076X    

DOI:10.1002/vipr.19970090107

出版商:WILEY‐VCH Verlag    

年代:1997

数据来源: WILEY

摘要:

AbstractOberflächen‐ und Dünnschichttechnologie benötigen Meßverfahren, um die Zusammensetzungen nur nanometerdicker Bereiche mit höchster Genauigkeit bestimmen zu können. Moderne kommerziell erhältliche Verfahren erlauben Stöchiometriebestimmungen mit ppb‐Empfindlichkeit, Bestimmung des chemischen Bindungszustandes oder Messung von Elementverteilungen. Die Tiefenprofilanalytik ermittelt den Aufbau komplexer Vielschichtsysteme auch bei analytisch schwierigen Proben wie elektrischen Isolatoren oder thermisch empfindlichen K

ISSN:0947-076X    

DOI:10.1002/vipr.19970090108

出版商:WILEY‐VCH Verlag    

年代:1997

数据来源: WILEY

ISSN:0947-076X    

DOI:10.1002/vipr.19970090109

出版商:WILEY‐VCH Verlag    

年代:1997

数据来源: WILEY

摘要:

AbstractThin film processing is a key technology for the production of all types of data storage disks. Planar magnetron technology, DC‐, DC‐reactive‐ and RF sputter processes are today industrially available for an economical mass production of all these formats.Data storage disks such as the CDs, the CD‐ROMs, CD‐Rs, MO disks or hard disks have found many applications in our information technology society. Thin‐film deposition is a key technology for the production of all these media. This article discusses the markets for the different formats, the structure of these disks, the challenges for thin film processing and presents the current state of front‐end producti

ISSN:0947-076X    

DOI:10.1002/vipr.19970090110

出版商:WILEY‐VCH Verlag    

年代:1997

数据来源: WILEY

摘要:

AbstractIn zwei Teilen wird die Funktionsweise der Erzeugung von kalten Niederdruckplasmen durch kapazitive und induktive Kopplung sowie durch resonante Anregung beschrieben und im dritten Teil gezeigt, wie die Kenntnis dieser Größen ausgenutzt werden kann, um Halbleiteroberflächen zu modifizier

ISSN:0947-076X    

DOI:10.1002/vipr.19970090111

出版商:WILEY‐VCH Verlag    

年代:1997

数据来源: WILEY