ISSN:0947-076X    

DOI:10.1002/vipr.19900020102

出版商:WILEY‐VCH Verlag    

年代:1990

数据来源: WILEY

ISSN:0947-076X    

DOI:10.1002/vipr.19900020103

出版商:WILEY‐VCH Verlag    

年代:1990

数据来源: WILEY

ISSN:0947-076X    

DOI:10.1002/vipr.19900020104

出版商:WILEY‐VCH Verlag    

年代:1990

数据来源: WILEY

ISSN:0947-076X    

DOI:10.1002/vipr.19900020105

出版商:WILEY‐VCH Verlag    

年代:1990

数据来源: WILEY

摘要:

AbstractDünne Schichten mit guten elektrischen, optischen, chemischen und mechanischen Eigenschaften lassen sich nur bei einer ausreichend hohen Mobilität der Teilchen beim Kondensationsprozeß herstellen. Sie ist vom Schmelzpunkt des Beschichtungsmaterials, der Substrattemperatur und der Teilchenenergie beim Auftreffen auf dem Substrat abhängig. Da der Substrattemperatur Grenzen gesetzt sind, kann vor allem bei hochschmelzenden Metallen oder Verbindungen eine Mobilitätserhöhung nur über die Teilchenenergie erfolgen. Teilchenenergien bis zu einigen 10 eV sind erforderlich, um Schichten hoher Dichte zu erzeugen. Unter vergleichbaren Beschichtungsbedingungen sind daher plasmagestützte Prozesse dem klassischen Aufdampfen im Hochvakuum überlegen.Gleichmäßige Kondensationsbedingungen auch auf großen Substratflächen und die Erzeugung einer möglichst hohen Ladungsträgerkonzentration zur Erhöhung der Kondensationsgeschwindigkeit bei reaktiven Beschichtungen sind vorrangige Ziele der We

ISSN:0947-076X    

DOI:10.1002/vipr.19900020106

出版商:WILEY‐VCH Verlag    

年代:1990

数据来源: WILEY

摘要:

AbstractEs existieren verschiedene Varianten der Kathodenzerstäubung zur Herstellung von dünnen Schichten im Vakuum. Die oft angewendete Diodenzerstäubung mit Gleichspannung oder Hochfrequenz, mit und ohne Magnetfeldunterstützung, die reaktive Zerstäubung und das Zerstäuben mit Vorspannung am Substrat werden beschrieben. Grundsätzliche Betrachtungen zum Aufbau von Kathodenzerstäubungsanlagen werden an‐ und die Vorteile dieses Beschichtungsverfahrens herau

ISSN:0947-076X    

DOI:10.1002/vipr.19900020107

出版商:WILEY‐VCH Verlag    

年代:1990

数据来源: WILEY

摘要:

AbstractVakuumtechnik beginnt mit der Auswahl der richtigen Werkstoffe. Neben physikalischen Eigenschaften — Gasabgabe, Gasdurchlässigkeit, Dampfdruck — sind auch Bearbeitungs‐ und Verbindungsmöglichkeiten zu beachten. Wo findet der Vakuum‐Techniker genaue Angaben über Stahl‐ und Aluminiumlegierungen, über Oxid, Keramik oder Sonderwerkstoffe? Diese Übersicht soll dem Interessierten helfen, bei Bedarf weitere umfassende Informationen aufzusuchen. Bearbeitungs‐, Reinigungs‐ und Fügeverfahren, Verbindungen der Werkstoffe untereinander sowie Konstruktionsprinzipien für Vakuumbauteile werden in Fol

ISSN:0947-076X    

DOI:10.1002/vipr.19900020108

出版商:WILEY‐VCH Verlag    

年代:1990

数据来源: WILEY

摘要:

AbstractPerfluorierte Polyäther (PFPE) haben sich aufgrund ihrer außergewöhnlichen chemisch‐physikalischen Daten einen festen Platz im Spektrum neuer Technologien gesichert. Moderne Vakuumverfahren bieten PFPE überdurchschnittlich viele Einsatzchancen. Es werden die wichtigsten Eigenschaften und Einsätze erläutert und Hinweise auf die zukünftige Entwicklung

ISSN:0947-076X    

DOI:10.1002/vipr.19900020109

出版商:WILEY‐VCH Verlag    

年代:1990

数据来源: WILEY

ISSN:0947-076X    

DOI:10.1002/vipr.19900020110

出版商:WILEY‐VCH Verlag    

年代:1990

数据来源: WILEY

ISSN:0947-076X    

DOI:10.1002/vipr.19900020111

出版商:WILEY‐VCH Verlag    

年代:1990

数据来源: WILEY