ISSN:0947-076X    

DOI:10.1002/vipr.19940060102

出版商:WILEY‐VCH Verlag    

年代:1994

数据来源: WILEY

ISSN:0947-076X    

DOI:10.1002/vipr.19940060103

出版商:WILEY‐VCH Verlag    

年代:1994

数据来源: WILEY

ISSN:0947-076X    

DOI:10.1002/vipr.19940060104

出版商:WILEY‐VCH Verlag    

年代:1994

数据来源: WILEY

摘要:

AbstractPlasmaverfahren werden meist im kleinen Maßstab erprobt. Zur industriellen Anwendung muß die Prozeßführung hochskaliert werden. Es wird eine Vorgehensweise beschrieben, die auf Theorie‐ und Erfahrungswerten basiert und geplante Experimente mit in‐situ Datenerfassung einsetzt. Als Beispiel dient die plasmaunterstützte Abscheidung aus der Gasphase (PE‐CVD) von amorphe

ISSN:0947-076X    

DOI:10.1002/vipr.19940060105

出版商:WILEY‐VCH Verlag    

年代:1994

数据来源: WILEY

摘要:

AbstractTurbomolekularpumpen sind im wesentlichen Axialstrom‐Kompressoren, die zum Pumpen verdünnter Gase ausgelegt ind. Die ursprünglichen Entwickler übernahmen mehr oder weniger die herkömmlichen Stufenanordnungen von Axialstrom‐Kompressoren, wobei die Molekül‐Trajektorien zwischen den abwechselnd rotierenden und stehenden Schaufelblattreihen durch mathematische Modellrechnungen untersucht wurden. Moderne Entwicklungen sind Kombinations‐ und Hybrid‐Anordnungen, die aus Turbomolekular‐ und Turbokinetik‐Stufen im gleichen Gehäuse und auf derselben Achse montiert bestehen. Diese neuen Pumpen erreichen viel höhere (10 bis 100fach) Kompressionsverhältnisse, wodurch höhere Auslaßdrücke und der Einsatz von ölfreien Vorpumpen möglich werden.Derzeit werden vier Typen von Turbinenpumpen industriell gefertigt: mehrstufige Axialstrom‐Turbomolekularpumpen, Molekularkinetikpumpen (üblicherweise vom Holweck Typ), Hybridpumpen mit modifizierten Stufen am Auslaß aber gleicher Anzahl von Rotoren sowie Kombinationspumpen, die axiale Stufen mit zusätzlichen Kinetikpumpen im gleichen Gehäuse vereinigen. Turbinenartige Hochvakuumpumpen erlauben – im Gegensatz zu Dampfstrahlpumpen (Diffusionspumpen) und Kryopumpen – relativ einfache konstruktive Lösungen zur Erhöhung des Ausstoßdruckes, wobei selbst ein direkte

ISSN:0947-076X    

DOI:10.1002/vipr.19940060106

出版商:WILEY‐VCH Verlag    

年代:1994

数据来源: WILEY

摘要:

AbstractDie Behandlung im Niederdruckplasma ersetzt den bisher unvermeidlich scheinenden Flußmitteleinsatz, um elektronische Funktionsbaugruppen nach dem Bestücken mit Bauelementen lötbar zu gestalten. Flußmittelreste können zu Qualitätseinbußen führen und sind unter Umweltaspekten als kritisch zu betrachten. Neuen Bauelementformen, bei denen Flußmittel auch aus Verfahrensgründen problematisch sind, wird hiermit der Weg zur breiten Anwendung

ISSN:0947-076X    

DOI:10.1002/vipr.19940060107

出版商:WILEY‐VCH Verlag    

年代:1994

数据来源: WILEY

ISSN:0947-076X    

DOI:10.1002/vipr.19940060108

出版商:WILEY‐VCH Verlag    

年代:1994

数据来源: WILEY

摘要:

AbstractPrinzipiell ist die metallorganische Molekularstrahlepitaxie (MOMBE oder CBE) die konsequenteste Form der Niedrigdruck‐metallorganischen Gasphasenepitaxie (MOVPE). Die Konzeption eines MOMBE‐Systems ist jedoch aufgrund des Molekularstrahlcharakters durch gänzlich andere Kriterien bestimmt als es in einem durch Fluß‐Dynamik bestimmten MOVPE‐System der Fall ist. Die Charakteristika einer MOMBE‐Epitaxie‐Anlage werden diskutiert und die zentralen Einsichten in den Wachstumsmechanismus des sogenannten oberflächenselektiven Wachstums werden angesprochen. Die Erkenntnisse bezüglich des Mechanismus können für die Verwirklichung von neuartigen Bauelementkonzepten ausgenutzt werden, wie z.B. für die laterale Integration von photonischen Bauelementen oder niedrig‐dimensionalen elektronischen Bauelementen. Darüber hinaus beeinflussen diese Erkenntnisse und Möglichkeiten auch wiederum die Entwicklungen von MOMBE‐Anlagen

ISSN:0947-076X    

DOI:10.1002/vipr.19940060109

出版商:WILEY‐VCH Verlag    

年代:1994

数据来源: WILEY

摘要:

AbstractEin primäres Vakuummeter wurde entwickelt, das das Phänomen der Gasreibung zwischen zwei koaxialen Scheiben ausnutzt. Das Gerät besteht aus einer Siliziumscheibe mit 92 mm Durchmesser, die von einem kalibrierten Torsionsfaden über einer Rotorscheibe von gleicher Größe gehalten wird. Diese dreht sich mit Drehzahlen bis zu 51000 min−1. Moleküle, die den Rotor verlassen, übertragen durch die Gasreibung ein Drehmoment auf die aufgehängte Scheibe. Die dadurch verursachte Auslenkung wird optisch gemessen und beträgt 2° bei 10−6mbar. Die für eine primäre Messung relevanten Faktoren wie Geometrie, Randeffekte und Akkommodationskoeffizient werden in diesem Artikel diskutiert. Der experimentelle Vergleich mit einem kommerziellen Gasreibungs‐Vakuummeter zeigt die universelle Anwendbarkeit des Drehscheiben‐Vakuummeters für primäre Totaldruckmessung im Hochvakuum mit einer Genauigkeit

ISSN:0947-076X    

DOI:10.1002/vipr.19940060110

出版商:WILEY‐VCH Verlag    

年代:1994

数据来源: WILEY

ISSN:0947-076X    

DOI:10.1002/vipr.19940060111

出版商:WILEY‐VCH Verlag    

年代:1994

数据来源: WILEY