ISSN:0947-076X    

DOI:10.1002/vipr.19980100102

出版商:WILEY‐VCH Verlag    

年代:1998

数据来源: WILEY

ISSN:0947-076X    

DOI:10.1002/vipr.19980100103

出版商:WILEY‐VCH Verlag    

年代:1998

数据来源: WILEY

ISSN:0947-076X    

DOI:10.1002/vipr.19980100104

出版商:WILEY‐VCH Verlag    

年代:1998

数据来源: WILEY

ISSN:0947-076X    

DOI:10.1002/vipr.19980100105

出版商:WILEY‐VCH Verlag    

年代:1998

数据来源: WILEY

ISSN:0947-076X    

DOI:10.1002/vipr.19980100106

出版商:WILEY‐VCH Verlag    

年代:1998

数据来源: WILEY

摘要:

AbstractNach einem Rückblick auf die Entstehungsgeschichte der auf der Nachionisation in einem heißen Elektronengas basierenden Methode der Sekundärneutralteilchen‐Massenspektrometrie SNMS werden deren prinzipielle Eigenschaften erläutert und denen anderer Verfahren der modernen Oberflächenanalytik gegenübergestellt. Die einfache und zuverlässige Quantifizierbarkeit der SNMS‐Signale, die niedrigen Nachweisgrenzen und die hohe Tiefenauflösung der Methode werden von den Grundlagen her beschrieben und anhand ausgewählter Anwendungsbeispiele aufgezeigt. Bei den neueren methodischen Entwicklungen wird vor allem auf den Hochfrequenzmodus HFM eingegangen, mit dem die vorteilhaften Eigenschaften der konventionellen direkten Beschußmethode von SNMS auch auf die Analyse nichtleitender Probenstrukturen übertragen werden. Eine neue Generation von SNMS‐Geräten soll als Option die in situ‐Anwendung der röntgenstrahlinduzierten Photoelektronenspektrosk

ISSN:0947-076X    

DOI:10.1002/vipr.19980100107

出版商:WILEY‐VCH Verlag    

年代:1998

数据来源: WILEY

摘要:

AbstractHochleistungs‐Elektronenstrahlen für industrielle Vakuumprozesse sind seit den sechziger Jahren bis in den MW‐Bereich verfügbar. In der Metallurgie der reaktiven und refraktären Metalle haben sie heute ihren festen Platz. Neue Applikationsfelder sind das Großflächenbeschichten von Metallbändern mit optischen Schichtsystemen sowie das Herstellen von Thermo‐Barriere‐Schichten für Gasturbinenkomponenten durch EB‐PVD‐Technologien (Electron Beam‐Physical Vapor Deposition). An der Vormachtstellung des Elektronenstrahls auf diesen Gebieten hat auch die Lasertechnik

ISSN:0947-076X    

DOI:10.1002/vipr.19980100108

出版商:WILEY‐VCH Verlag    

年代:1998

数据来源: WILEY

摘要:

AbstractDie dargestellten Beispiele der Oberflächen‐ und Mikrobereichsanalyse an Gläsern zeigen, daß die physikalisch orientierten Sondenverfahren praktikabel in den Bereichen Entwicklung, Prozeßkontrolle und Fehleranalyse sind. Aufgrund der für diese Untersuchungen erforderlichen gerätetechnischen Ausstattung und der notwendigen fachlichen und meßtechnischen Erfahrung nutzen eine wachsende Zahl von Glas‐ und Beschichtungsfachleuten externe High Tech Dienstleistungsla

ISSN:0947-076X    

DOI:10.1002/vipr.19980100109

出版商:WILEY‐VCH Verlag    

年代:1998

数据来源: WILEY

摘要:

AbstractSchätzungsweise mehrere Millionen Werkzeuge und Bauteile werden monatlich mit Hartstoffen mittels kathodischer Vakuumbogenverdampfung beschichtet. Zumeist steht dabei der Verschleißschutz im Vordergrund, aber auch dekorative‐ und Oxydationsschutzbeschichtungen haben einen beachtlichen Stellenwert erlangt. Neben dem klassischen TiN kommt mittlerweile eine ganze Palette von Schichtsystemen für verschiedene Anwendungsfälle zum Einsatz. Jüngste Entwicklungen zielen sowohl auf die bessere Anpassung der Schicht‐Substrat‐Verbünde an die entsprechenden Einsatzbedingungen, als auch auf die Beschichtung von Substratmaterialien, die in der Vergangenheit nicht beschichtet werden konnten. Das betrifft vor allem Stoffe, die thermisch nur wenig belastet werden können. Diese Entwicklung geht einher mit der ständigen Vervollkommnung der Anlagentechnik. Beschichtungsanlagen von Tischgröße bis hin zu mehreren Metern Bearbeitungslänge mit vollautomatischer Prozeßführung st

ISSN:0947-076X    

DOI:10.1002/vipr.19980100110

出版商:WILEY‐VCH Verlag    

年代:1998

数据来源: WILEY

摘要:

AbstractDünne Schichten sind durch ihre geringe Strahlungsfestigkeit eine Schwachstelle in optischen Systemen für ultraviolette Strahlung. Durch die Hochvakuumverdampfung von Oxid‐ und Fluoridschichten unter extremen Reinheitsbedingungen gelingt jetzt die Herstellung von optischen Schichten höchster Strahlungsfestig

ISSN:0947-076X    

DOI:10.1002/vipr.19980100111

出版商:WILEY‐VCH Verlag    

年代:1998

数据来源: WILEY