AbstractTurbomolekularpumpen sind im wesentlichen Axialstrom‐Kompressoren, die zum Pumpen verdünnter Gase ausgelegt ind. Die ursprünglichen Entwickler übernahmen mehr oder weniger die herkömmlichen Stufenanordnungen von Axialstrom‐Kompressoren, wobei die Molekül‐Trajektorien zwischen den abwechselnd rotierenden und stehenden Schaufelblattreihen durch mathematische Modellrechnungen untersucht wurden. Moderne Entwicklungen sind Kombinations‐ und Hybrid‐Anordnungen, die aus Turbomolekular‐ und Turbokinetik‐Stufen im gleichen Gehäuse und auf derselben Achse montiert bestehen. Diese neuen Pumpen erreichen viel höhere (10 bis 100fach) Kompressionsverhältnisse, wodurch höhere Auslaßdrücke und der Einsatz von ölfreien Vorpumpen möglich werden.Derzeit werden vier Typen von Turbinenpumpen industriell gefertigt: mehrstufige Axialstrom‐Turbomolekularpumpen, Molekularkinetikpumpen (üblicherweise vom Holweck Typ), Hybridpumpen mit modifizierten Stufen am Auslaß aber gleicher Anzahl von Rotoren sowie Kombinationspumpen, die axiale Stufen mit zusätzlichen Kinetikpumpen im gleichen Gehäuse vereinigen. Turbinenartige Hochvakuumpumpen erlauben – im Gegensatz zu Dampfstrahlpumpen (Diffusionspumpen) und Kryopumpen – relativ einfache konstruktive Lösungen zur Erhöhung des Ausstoßdruckes, wobei selbst ein direkte