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Optische Schichten für UV‐Hochleistungsoptiken

 

作者: N. Kaiser,  

 

期刊: Vakuum in Forschung und Praxis  （WILEY Available online 1998）
卷期: Volume 10, issue 1  

页码: 47-49

 

ISSN:0947-076X

 

年代: 1998

 

DOI:10.1002/vipr.19980100111

 

出版商: WILEY‐VCH Verlag

 

数据来源: WILEY

 

摘要:

AbstractDünne Schichten sind durch ihre geringe Strahlungsfestigkeit eine Schwachstelle in optischen Systemen für ultraviolette Strahlung. Durch die Hochvakuumverdampfung von Oxid‐ und Fluoridschichten unter extremen Reinheitsbedingungen gelingt jetzt die Herstellung von optischen Schichten höchster Strahlungsfestig

 

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