A new method for the fabrication of submicron thick gallium arsenide membranes

 

作者: Kevin C. Lee,   J. Silcox,   C. A. Lee,  

 

期刊: Applied Physics Letters  （AIP Available online 1983）
卷期: Volume 43, issue 5  

页码: 488-489

 

ISSN:0003-6951

 

年代: 1983

 

DOI:10.1063/1.94361

 

出版商: AIP

 

数据来源: AIP

 

 

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