Erratum: Oxidant transport during steam oxidation of silicon [Appl. Phys. Lett.39, 903 (1981)]

 

作者: J. C. Mikkelsen,  

 

期刊: Applied Physics Letters  （AIP Available online 1982）
卷期: Volume 41, issue 11  

页码: 1105-1105

 

ISSN:0003-6951

 

年代: 1982

 

DOI:10.1063/1.93719

 

出版商: AIP

 

数据来源: AIP

 

 

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