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Mit Hochfrequenz angeregte Niederdruckplasmen: Prinzipien und Strukturierung von Halbleitern. Teil I

 

作者: Gerhard Franz,  

 

期刊: Vakuum in Forschung und Praxis  （WILEY Available online 1997）
卷期: Volume 9, issue 1  

页码: 47-52

 

ISSN:0947-076X

 

年代: 1997

 

DOI:10.1002/vipr.19970090111

 

出版商: WILEY‐VCH Verlag

 

数据来源: WILEY

 

摘要:

AbstractIn zwei Teilen wird die Funktionsweise der Erzeugung von kalten Niederdruckplasmen durch kapazitive und induktive Kopplung sowie durch resonante Anregung beschrieben und im dritten Teil gezeigt, wie die Kenntnis dieser Größen ausgenutzt werden kann, um Halbleiteroberflächen zu modifizier

 

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