作者: W. Jitschin, B. Hansen,
期刊: Vakuum in Forschung und Praxis (WILEY Available online 1990) 卷期: Volume 2, issue 1
页码: 43-44
ISSN:0947-076X
年代: 1990
DOI:10.1002/vipr.19900020110
出版商: WILEY‐VCH Verlag
数据来源: WILEY
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