AbstractPlasmaprozesse, die mit fluor‐ oder chlorhaltigen Prozeßgasen geführt werden und denen entweder in die Ausgangs mischung oder im Prozeßverlauf durch Reaktionen mit entsprechenden Substraten Kohlenstoffe zugefügt werden, können zur Bildung von ungesättigten Fluorkohlenstoffen bzw. im Falle von Chlor zu höhermolekularen aromatischen Chlorkohlenstoffen führen. Beide Produktarten führen durch Akkumulation an den Wänden der Vakuumanlage bzw. im Pumpenöl zu Mengen, die eine erhöhte Sicherheitsaufmerksamkeit verdienen. Neben der Diskussion der Bildungsbedingungen in Plasmen wurden Konzepte für die Entsorgung von Cl2und von Fluorkohlenstoffen vorgeschlagen. Beiden Verfahren liegen Hochtemperaturprozesse zugrunde. Im Falle des Chlors erweist sich ein Fe‐Reaktor im Vakuumsystem als sehr effizient. Für Fluorkohlenstoff wird ein Konzept einer Hochtemperaturreaktion auf der Druckseite der Vakuumapparatur vorgeschlagen und deren Wirksamkeit mit Hilfe gaschromatografischer Untersuchungen nachgewiesen.Friedrich‐Schiller‐Universität Jena, Chemische Fakultät, Institut für P