AbstractDie Plasmapolymerisation ist ein relativ junges Vakuumbeschichtungsverfahren, welches sich durch vielfältige Schichteigenschaften auszeichnet. Aufgrund der geringen thermischen Belastung des Substrates eignet sie sich insbesondere zur Beschichtung von Kunststoffen. In diesem Beitrag wird das Verfahren anhand der Mikrowellen‐Plasmapoly‐merisation erläutert. Das Plasma, der Prozeß und der Anlagenaufbau werden beschrieben, bevor eine Übersicht über einige Anwendungen zeigt, wie vielseitig dieses Beschichtungsverfahren ist. Dabei werden Aspekte berücksichtigt, die für den industriellen Einsatz von Bedeutung sind. Hierzu gehören Beschichtungsabmessungen, Prozeßgeschwindigkeit und Wirtschaftlichkeit de