AbstractEs existieren verschiedene Varianten der Kathodenzerstäubung zur Herstellung von dünnen Schichten im Vakuum. Die oft angewendete Diodenzerstäubung mit Gleichspannung oder Hochfrequenz, mit und ohne Magnetfeldunterstützung, die reaktive Zerstäubung und das Zerstäuben mit Vorspannung am Substrat werden beschrieben. Grundsätzliche Betrachtungen zum Aufbau von Kathodenzerstäubungsanlagen werden an‐ und die Vorteile dieses Beschichtungsverfahrens herau