AbstractEs wird über die experimentelle Untersuchung des Reaktionsgleichgewichtes 4SiHCl3,g = 3SiCl4,g + Si,f + 2H2,g(1) zwischen 800 und 1140 und SiCl4,g + H2,g = SiHCl3,g + HCl,g (2) zwischen 1170 und 1540 K nach der statischen und dynamischen Methode berichtet. Die Temperaturabhängigkeit der Gleichgewichtskonstanten wird durch die Gleichungen lg Kp [Torr] = (5,688–1520/T) ± 0.32(1) und lg Kp = (1,38–3250/T) ± 0,16(2) wiedergegeben Aus den ermittelten Reaktionsdrücken und Gleichgewichtskonstanten folgt, daß die aus den calorimetrischen Literaturwerten abgeleitete Differenz der Standardbildungsenthalpien von SiCl4und SiHCl3um 5–6 kcal/mol korrekturbedürftig ist. Die Gleichgewichtsmessungen ergeben mit ΔH 2980(SiCl4,g) = −157,1 kcal/mol für SiHCl3ΔH 2980(SiCl3,g) =