AbstractReaktionen von Gasen mit Festkörpern verlaufen in der Folge: Stoßvorgang — Adsorption — Chemisorption — Reaktion. Adsorption und Chemisorption unterscheiden sich qualitativ und quantitativ hinsichtlich der Wechselwirkung von Adsorbens und Adsorbat. Einige Meßverfahren zur Ermittlung von Art und Ausmaß der Wechselwirkung werden besprochen.Für Bestimmungen der Wechselwirkung bei der Chemisorption von Gasen an Metallen eignen sich besonders dünne Metall‐Aufdampfschichten und Messungen im Feldemissionsmikroskop. Die Chemisorption von Gasen an Halbleitern bewirkt wegen der vergleichsweise geringen Ladungsträgerkonzentrationen in Halbleitern Veränderungen, die von der Oberfläche aus weiter in den Festkörper hineinreichen. Die hier anwendbaren Meßverfahren, die Zeitgesetze des Ablaufs der Chemisorption und die Ergebnisse der Untersuchung einiger einfacher Systeme werden erörtert. Als Folgevorgänge der Chemisorption treten bei halbleitenden Verbindungen auch Transportvorgänge in den oberflächennahen Berei