AbstractEin plasmaunterstütztes Aufdampfverfahren zur Herstellung optisch wirksamer dünner Schichten führt bereits bei niederen Substrattemperaturen zu hervorragenden Schichteigenschaften. Anhand der Untersuchungen von Einzelschichten im Vergleich zum konventionellen Verfahren wird der physikalische Effekt, welcher zur Verbesserung der Schichteigenschaften führt, verdeutlicht. Bei der Beschichtung von Kunststoff‐Brillengläsern wird die Durchlaufzeit bei Sicherstellung einer hohen Qualität des Endproduktes drastisch reduziert. Die Herstellung extrem temperaturstabiler Interferenzfilter für die Glasfaserübertragungstechnik demonstriert die Leistungsfähigkeit dieser noch relativ neu