Neuere Entwicklungen auf dem Gebiet der Vakuumbogenbeschichtung
作者:
B. Schultrich,
P. Siemroth,
J. Vetter,
O. Zimmer,
期刊:
Vakuum in Forschung und Praxis
(WILEY Available online 1998)
卷期:
Volume 10,
issue 1
页码: 37-46
ISSN:0947-076X
年代: 1998
DOI:10.1002/vipr.19980100110
出版商: WILEY‐VCH Verlag
数据来源: WILEY
摘要:
AbstractSchätzungsweise mehrere Millionen Werkzeuge und Bauteile werden monatlich mit Hartstoffen mittels kathodischer Vakuumbogenverdampfung beschichtet. Zumeist steht dabei der Verschleißschutz im Vordergrund, aber auch dekorative‐ und Oxydationsschutzbeschichtungen haben einen beachtlichen Stellenwert erlangt. Neben dem klassischen TiN kommt mittlerweile eine ganze Palette von Schichtsystemen für verschiedene Anwendungsfälle zum Einsatz. Jüngste Entwicklungen zielen sowohl auf die bessere Anpassung der Schicht‐Substrat‐Verbünde an die entsprechenden Einsatzbedingungen, als auch auf die Beschichtung von Substratmaterialien, die in der Vergangenheit nicht beschichtet werden konnten. Das betrifft vor allem Stoffe, die thermisch nur wenig belastet werden können. Diese Entwicklung geht einher mit der ständigen Vervollkommnung der Anlagentechnik. Beschichtungsanlagen von Tischgröße bis hin zu mehreren Metern Bearbeitungslänge mit vollautomatischer Prozeßführung st
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