AbstractNach einem Rückblick auf die Entstehungsgeschichte der auf der Nachionisation in einem heißen Elektronengas basierenden Methode der Sekundärneutralteilchen‐Massenspektrometrie SNMS werden deren prinzipielle Eigenschaften erläutert und denen anderer Verfahren der modernen Oberflächenanalytik gegenübergestellt. Die einfache und zuverlässige Quantifizierbarkeit der SNMS‐Signale, die niedrigen Nachweisgrenzen und die hohe Tiefenauflösung der Methode werden von den Grundlagen her beschrieben und anhand ausgewählter Anwendungsbeispiele aufgezeigt. Bei den neueren methodischen Entwicklungen wird vor allem auf den Hochfrequenzmodus HFM eingegangen, mit dem die vorteilhaften Eigenschaften der konventionellen direkten Beschußmethode von SNMS auch auf die Analyse nichtleitender Probenstrukturen übertragen werden. Eine neue Generation von SNMS‐Geräten soll als Option die in situ‐Anwendung der röntgenstrahlinduzierten Photoelektronenspektrosk