Erratum: Fabrication of deep square wave structures with micron dimensions by reactive sputter etching

 

作者: H. W. Lehmann,   R. Widmer,  

 

期刊: Applied Physics Letters  （AIP Available online 1978）
卷期: Volume 33, issue 4  

页码: 367-367

 

ISSN:0003-6951

 

年代: 1978

 

DOI:10.1063/1.90555

 

出版商: AIP

 

数据来源: AIP

 

 

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