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作者:

 

期刊: Vakuum in Forschung und Praxis  （WILEY Available online 1994）
卷期: Volume 6, issue 1  

页码: 48-55

 

ISSN:0947-076X

 

年代: 1994

 

DOI:10.1002/vipr.19940060111

 

出版商: WILEY‐VCH Verlag

 

数据来源: WILEY

 

 

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