AbstractPlasmaverfahren werden meist im kleinen Maßstab erprobt. Zur industriellen Anwendung muß die Prozeßführung hochskaliert werden. Es wird eine Vorgehensweise beschrieben, die auf Theorie‐ und Erfahrungswerten basiert und geplante Experimente mit in‐situ Datenerfassung einsetzt. Als Beispiel dient die plasmaunterstützte Abscheidung aus der Gasphase (PE‐CVD) von amorphe